[lmikle]

Во первых, сделай это через Проводник.
Во вторых, на Z лучше не стоит. Возьми первую свободную букву.
Если я правильно помню, то именно Delphi 5 пытается проверить, что он ставится с компакта.
И еще, можно попробовать сразу запустить install\setup.exe - собственно, инсталятор. Там install, что в корне лежит, это оболочка. ЕЕ могли "зарипапь" пираты, а install\setup.exe - это собственно инсталятор дельфи.