[angvelem]

Код:

{$I-}  
  assignFile(fw,FlacName+'.wav');  
  rewrite(fw);    
  if IOResult = 0 then
  begin
    blockWrite(fw,waveHdr,sizeOf(waveHdr)); //записать заголовок  wave 
    blockWrite(fw,proc_buf[0],qz);  
    closeFile(fw);
  end;
{$I+}  

А перед while, используй FileExists.